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金屬蝕刻技術及類型,你知道嗎(ma)?

來源:http://www.longzeqiqiu.com/skjgjszx/648.html發布時間:2022-11-15

       東莞市萝卜视频在线观看電器科技有限公司是一家專注於金屬精密蝕刻企業,自成立以來一直致力(lì)於蝕刻產(chǎn)品加工,研發(fā),以及後工(gōng)序完善的配套工序(xù)。公司(sī)擁有(yǒu)20000平米生產基地,十七多年的精密蝕(shí)刻加工經驗,先後取得ISO9001,IATF16949等認證。產(chǎn)品廣(guǎng)泛應用電器、精密五金、通訊(xùn)產品、汽車零件、裝飾板、醫療器械、石油化工、實驗科研、應用元件等行業等各個領域(yù),公司工藝(yì)集蝕刻、衝壓、焊接、CNC,電鍍電泳(yǒng)噴(pēn)油PVD等綜合工藝於一體,使客戶得到一站式服務。


蝕刻是一種利用化學強酸腐蝕(shí)、機械拋(pāo)光對物體表麵進行處理的技術(shù)。除了增強美感之外,它還(hái)增加了對象的(de)附(fù)加值。從傳統的金屬(shǔ)加工到再到醫療設備製造,都(dōu)在蝕刻技術的應用範圍之內(nèi)。那麽,接下來萝卜视频在线观看蝕刻跟大家聊聊:什麽是(shì)金(jīn)屬蝕刻?蝕刻技術(shù)的類型有哪些?


一、什麽是(shì)金屬(shǔ)蝕刻?


金屬蝕刻是一種(zhǒng)通過化學反應或(huò)物理衝擊去除(chú)金屬材(cái)料的技術。金屬蝕刻技術可分為濕蝕刻和幹蝕刻。金屬蝕刻由一係(xì)列化(huà)學(xué)過程組成。不同的(de)蝕刻劑(jì)對不同的金(jīn)屬材料(liào)具有不同的腐蝕(shí)特性和強度。


金屬(shǔ)蝕刻又稱光化學蝕刻,是指在金屬蝕刻過程中經過曝光、製版、顯影,與化學溶液(yè)接觸後,去除金屬蝕刻區的保護膜(mó),以達到溶解腐(fǔ)蝕(shí)、形成凸點、或挖空。最早用於製造銅板、鋅板等印刷凹凸板,廣泛用於減輕儀(yí)表板的重量,或加工銘牌等薄型工件。經(jīng)過(guò)技術和工(gōng)藝設備的不斷改進,蝕刻技術現已應用於航空、機械(xiè)、化工、半導體製(zhì)造工藝,進(jìn)行電子薄件精密金(jīn)屬蝕刻產(chǎn)品的加工。

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二、蝕刻技術的類(lèi)型


1.濕蝕刻:


濕法蝕刻是將晶圓浸入合適的化學溶液中,或(huò)將(jiāng)化學溶液噴射(shè)到(dào)晶圓上進行淬火(huǒ),通過溶液與被蝕刻(kè)物體的化(huà)學反應去除薄膜表麵的原子,從而達到蝕(shí)刻的目的.進行(háng)濕(shī)法刻蝕時,溶(róng)液中的反應物首先通過停滯(zhì)邊界層擴散,然後到達晶片表麵,發生化學反應,產生各種產(chǎn)物。蝕刻化學反應(yīng)的產(chǎn)物是液相或氣相產物,然後這(zhè)些產物通過邊(biān)界層擴散並溶解到(dào)主溶液(yè)中。濕(shī)法蝕刻不僅會在垂直方向蝕刻(kè),還會有水平蝕刻效果。

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2.幹蝕刻:


幹(gàn)蝕刻通常是等離子蝕刻或化學蝕刻(kè)的一種。由於蝕刻效果的不同,等離子體中離子(zǐ)的物理原子、活性自(zì)由基的(de)化學反應以及器件(晶圓)的表麵原子,或兩者的(de)結(jié)合,包括以下內容:


物理(lǐ)蝕刻:濺射蝕刻、離子束(shù)蝕刻


化學蝕刻:等離(lí)子蝕刻


物理化學複合蝕刻:反應離子蝕刻(RIE)


幹蝕刻是一(yī)種各向異性蝕刻,具有良好的方向性,但(dàn)選擇性比濕蝕刻差。在等離子體蝕刻中,等離子(zǐ)體(tǐ)是一種部分離解的氣體,氣體分子被離解成電子、離子(zǐ)和其他具有高化學活性的物質。幹蝕刻最大的優點是“各向異性蝕刻”。然而(ér),(自由基)幹蝕(shí)刻的選擇(zé)性低於濕(shī)蝕刻。這是因為幹蝕刻的蝕刻機理是(shì)物理相互作用;因此,離子的衝擊(jī)不僅可以(yǐ)去除蝕刻膜,還可以(yǐ)去除光刻膠掩模。


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